Компания Samsung заявила об успешном завершении разработки 5 нм техпроцесса производства мобильных процессоров. Технология получила название FinFET EUV. В настоящее время самыми производительными считаются чипы, изготовленные по 7 нм техпроцессу.

С апреля 2019 года Samsung начала принимать заказы на производство первых партий микросхем. Сроки выпуска первых пилотных партий 5-нанометровых чипов корейская компания не называет. Однако известно, что новые нормы уже освоены на фабрике S3 в Хвасоне (Южная Корея). Кроме того, в Samsung готовят к запуску новую производственную линию в непосредственной близости от S3, которая с начала своей работы будет выпускать продукцию по нормам 5 нм. Ввод новых мощностей запланирован на второе полугодие 2019 года.

В FinFET EUV для формирования слоя металлизации используется принцип фотолитографии в глубоком ультрафиолетовом диапазоне. Эта технология уже доказала свою эффективность в 7 нм техпроцессе.

По информации Samsung, новый техпроцесс существенно лучше 7 нм. В сравнении с ним, 5-нанометровые чипы обладают повышенной на 10% производительностью и потребляют на 25% меньше энергии, что обеспечит более длительное время автономной работы мобильных устройств. Также новая технология гарантирует 25-процентное повышение плотности компоновки логических цепей и уменьшение количества фотомасок, необходимых для производства полупроводников.