Министерство промышленности и торговли обсуждает финансирование ряда опытно-конструкторских работ (ОКР) по разработке технологий и промышленных установок для производства микрочипов. В частности, по результатам этих работ должы появиться решения для производства чипов по нормам от 250 до 65 нм. Сейчас идёт поиск исполнителей для пяти ОКР в сфере выпуска полупроводников. В общей сложности на проведение работ может быть выделено до 9,2 млрд рублей.
Один из проектов носит название «Разработка и освоение в производстве установки лазерного устранения дефектов и постановка технологического процесса устранения недопустимых дефектов на фотошаблонах в обеспечение производства интегральных схем с топологическими нормами 90-65 нм»: начальная цена контракта составляет 1,16 млрд руб. Ещё одна ОКР со стоимостью 1,41 млрд рублей получила название «Разработка и освоение в производстве установки контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах в обеспечение производства интегральных схем с топологическими нормами 90-65 нм».
Кроме того, планируется реализация проекта «Разработка и изготовление опытных образцов установок электрохимического осаждения для обеспечения серийного производства микроэлектроники на пластинах 100 мм/4 дюйма и 200 мм/90 нм» с начальной стоимостью 800 млн рублей.
Ещё две ОКР носят названия «Разработка технологии и комплексного инструмента проектирования широкой номенклатуры СВЧ-компонентов, изготавливаемых на основе гетероэпитаксиальных структур нитрида галлия на подложках карбида кремния с проектными нормами 0,25 мкм (250 нм)» и «Разработка технологии и комплексного инструмента проектирования широкой номенклатуры СВЧ- и силовых компонентов, изготавливаемых на основе гетероэпитаксиальных структур нитрида галлия на подложках кремния с проектными нормами до 0,25 мкм». Начальная цена этих контрактов — 2,71 млрд рублей и 3,13 млрд рублей соответственно.
Предполагается, что работы по проектам будут выполнены в 2025–2026 годы. Результатом должны стать в том числе опытные установки и типовые технологические процессы для выпуска чипов. Это поможет в осуществлении импортозамещения в ИТ-секторе.
Стоит отметить, что самое передовое производство микроэлектронных чипов работает на фабриках Samsung и TSMC. Компании уже производят продукцию по 3-нм техпроцессу.
