В России появился первый безмасочный нанолитограф и установка плазмохимического травления кремния. Уникальное оборудование создано учёными Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ). Новое оборудование позволяет заниматься созданием альтернативных архитектур микроэлектроники и решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении.

Безмасочный литограф позволяет получать изображения на подложке без использования маски: такой вариант проще и дешевле традиционного литографа, в котором используется шаблон. Так, отечественная разработка оценена в 5 млн рублей против 10 млрд рублей за иностранную. Ученые разработали ПО для управления литографом и полностью автоматизировали процесс его работы.

Установка плазмохимического травления кремния позволяет создавать кремниевые мембраны. Руководитель научной группы СПбПУ Артем Осипов отмечает, что отечественные мембраны по надежности и чувствительности превосходят те, что изготавливаются методами жидкостного или лазерного травления.

«Применение безмасочной нанолитографии в совокупности с плазмохимическим травлением возможно для решения широкого спектра задач. Например, в радиолокационном оборудовании возможно увеличение срока службы приборов более чем в 20 раз. А применение технологии при производстве солнечных панелей позволяет уменьшить их вес и габариты, дает возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД», – рассказал Артем Осипов.

Команда учёных собирается совершенствовать обе установки. В частности, планируется внедрить в обе машинное обучение.